Las fuentes de evaporación térmica son esenciales para depositar diversos materiales.
Estas fuentes incluyen principalmente botes, cestas, filamentos y varillas recubiertas.
Suelen estar fabricadas con materiales como el tungsteno, el tantalio o el molibdeno.
Los métodos de calentamiento de estas fuentes son la evaporación por filamento o la evaporación por haz de electrones (E-Beam).
Explicación de los 5 tipos principales
1. Barcos
Los botes son un tipo común de fuente de evaporación térmica.
Los hay de varios tamaños.
Las embarcaciones más grandes suelen requerir mayor potencia para la misma tasa de deposición.
Sin embargo, pueden manejar tasas máximas de deposición más altas.
2. Evaporación por filamento
La evaporación de filamentos implica el uso de un simple elemento calefactor eléctrico.
Este método es sencillo y se basa en la resistencia del filamento para generar calor.
3. Evaporación E-Beam
La evaporación por haz electrónico utiliza un haz de electrones para calentar directamente el material de partida.
Este método es especialmente útil para materiales refractarios o que requieren temperaturas más altas para evaporarse.
4. Sistemas de evaporación de película fina
Los sistemas de evaporación de película fina ofrecen ventajas tales como altas velocidades de deposición.
También permiten controlar la velocidad y el espesor en tiempo real.
Un buen control direccional de la corriente evaporante es beneficioso para procesos como el Lift Off para conseguir recubrimientos con patrones directos.
5. Materiales de evaporación térmica
Los materiales de evaporación térmica incluyen diversas sustancias como oro, plata, titanio, dióxido de silicio, tungsteno y cobre.
Estos materiales pueden sublimarse o evaporarse a temperaturas cercanas a sus puntos de fusión, dependiendo de su presión de vapor.
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