La pulverización catódica es un proceso de deposición de películas finas utilizado en diversas industrias, como la de semiconductores, dispositivos ópticos y acabado de superficies.
Consiste en la eyección de átomos de un material objetivo sobre un sustrato mediante el bombardeo de partículas de alta energía.
Esta técnica es una forma de deposición física en fase vapor (PVD) y se viene utilizando desde principios del siglo XIX, con importantes avances e innovaciones a lo largo de los años.
5 puntos clave que hay que comprender
1. Detalles del proceso
En el sputtering, se introduce un gas controlado, normalmente argón, en una cámara de vacío.
Se aplica un voltaje para crear un plasma, y el material objetivo, que actúa como cátodo, es bombardeado por iones de argón.
Este bombardeo hace que los átomos del blanco sean expulsados y depositados sobre un sustrato, que actúa como ánodo.
La película delgada resultante tiene una excelente uniformidad, densidad y adherencia, lo que la hace adecuada para una amplia gama de aplicaciones.
2. Variantes y aplicaciones
El sputtering puede clasificarse en diferentes tipos, como el sputtering catódico, el sputtering por diodos, el sputtering por RF o CC, el sputtering por haz de iones y el sputtering reactivo.
A pesar de estas variaciones, el proceso fundamental sigue siendo el mismo.
La versatilidad del sputtering permite utilizarlo para crear revestimientos reflectantes, dispositivos semiconductores y productos nanotecnológicos.
También se emplea en técnicas analíticas y de grabado de precisión debido a su capacidad para actuar sobre capas extremadamente finas de material.
3. Importancia histórica y tecnológica
El proceso de pulverización catódica se descubrió por primera vez en 1852 y Langmuir lo desarrolló como técnica de deposición de películas finas en 1920.
Desde 1976, se han concedido más de 45.000 patentes estadounidenses relacionadas con el sputtering, lo que pone de manifiesto su importancia en los materiales y dispositivos avanzados.
La innovación continua en la tecnología de sputtering ha sido crucial para el avance de la ciencia de materiales y ha permitido la producción de películas finas de alta calidad esenciales para las aplicaciones tecnológicas modernas.
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