La frecuencia del MPCVD es de 2,45 GHz. Esta es la frecuencia a la que funciona el generador de microondas del sistema MPCVD.
La radiación de microondas se utiliza para generar plasma en la cámara de vacío, creando un entorno ideal para la deposición del diamante.
Los electrones del plasma absorben energía de la radiación de microondas, alcanzando temperaturas de hasta 5273 K.
Las frecuencias de microondas más utilizadas para este método son 2,45 GHz y 915 MHz.
¿Cuál es la frecuencia del MPCVD? (Explicación de 4 puntos clave)
1. Frecuencia de funcionamiento del MPCVD
La frecuencia de MPCVD es de 2,45 GHz. Esta es la frecuencia a la que funciona el generador de microondas del sistema MPCVD.
2. 2. Generación de plasma
La radiación de microondas se utiliza para generar plasma en la cámara de vacío, creando un entorno ideal para la deposición de diamante.
3. Temperatura de los electrones
Los electrones del plasma absorben energía de la radiación de microondas, alcanzando temperaturas de hasta 5273 K.
4. Frecuencias de microondas habituales
Las frecuencias de microondas más utilizadas para este método son 2,45 GHz y 915 MHz.
5. Ventajas del MPCVD
El método MPCVD tiene varias ventajas sobre otros métodos de síntesis de diamante.
En comparación con el método CVD DC-PJ, el MPCVD permite un ajuste suave y continuo de la potencia de microondas y un control estable de la temperatura de reacción.
Esto ayuda a evitar el problema de las semillas de cristal que se caen del sustrato debido a la formación de arcos y al fallo de la llama.
Ajustando la estructura de la cámara de reacción y controlando la potencia y la presión de las microondas, se puede obtener una gran superficie de plasma de descarga estable, necesaria para la producción de diamantes monocristalinos de gran calidad y tamaño.
Por lo tanto, el método MPCVD se considera el método de síntesis de diamantes más prometedor para aplicaciones industriales.
6. Otras aplicaciones del MPCVD
Además de sus ventajas en la síntesis de diamantes, el método MPCVD también se utiliza en otras aplicaciones como la fabricación de grafeno.
La frecuencia de 2,45 GHz se utiliza en el diseño de cámaras MPECVD para sistemas de producción de células de película fina.
La colocación de las ranuras en la cámara afecta al modo resonante, ya que las posiciones central e inferior producen los modos TE111 y TM011, respectivamente, a 2,45 GHz.
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