La tecnología de pulverización catódica es un método utilizado para depositar películas finas sobre diversas superficies.
Se utiliza principalmente en industrias como la de semiconductores, unidades de disco, CD y dispositivos ópticos.
Este proceso consiste en expulsar átomos de un material objetivo mediante un bombardeo energético de iones.
A continuación, los átomos expulsados se condensan en un sustrato cercano, formando una fina película.
¿Qué es la tecnología de sputtering? Explicación de 5 puntos clave
1. 1. Descripción general del proceso
Bombardeo iónico: Se aplica un alto voltaje en una cámara de vacío llena de un gas inerte como el argón.
Esto crea una descarga luminosa que acelera los iones hacia un material objetivo.
Expulsión de átomos: Cuando los iones de argón impactan en el objetivo, desprenden átomos mediante un proceso denominado pulverización catódica.
Deposición sobre el sustrato: Los átomos expulsados forman una nube de vapor que se desplaza hacia un sustrato y se condensa en él, formando una fina película.
2. Tipos de sputtering
Sputtering convencional: Se utiliza para depositar metales puros o aleaciones.
Sputtering reactivo: Implica añadir un gas reactivo a la cámara, que reacciona con el material expulsado para formar compuestos como óxidos o nitruros.
3. Ventajas de la tecnología de sputtering
Alta precisión: Permite un control muy preciso del espesor y la composición de las películas depositadas.
Recubrimientos lisos: Produce recubrimientos lisos y sin gotas, ideales para aplicaciones ópticas y electrónicas.
Versatilidad: Puede tratar una amplia gama de materiales, incluidos los no conductores, utilizando potencia de RF o MF.
4. Aplicaciones
Semiconductores: Esencial para la deposición de capas en dispositivos semiconductores.
Dispositivos ópticos: Utilizados para crear revestimientos ópticos de alta calidad.
Recubrimientos tribológicos: En los mercados de automoción, para recubrimientos que mejoran la durabilidad y reducen el desgaste.
5. Desventajas
Velocidad de deposición más lenta: En comparación con otras técnicas de deposición como la evaporación.
Menor densidad del plasma: Esto puede afectar a la eficiencia del proceso.
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