El recubrimiento por pulverización catódica es un proceso utilizado para depositar películas finas y uniformes de material sobre un sustrato.
Este proceso es esencial para mejorar el rendimiento de las muestras en microscopía electrónica de barrido.
Ayuda a reducir la carga, los daños térmicos y mejora la emisión de electrones secundarios.
¿Cuál es el principio de la pulverización catódica? Explicación de los 5 pasos clave
1. Configuración de la cámara de vacío
El sustrato que se va a recubrir se coloca dentro de una cámara de vacío llena de un gas inerte, normalmente argón.
Este entorno es necesario para evitar la contaminación y garantizar la transferencia eficaz de los átomos pulverizados al sustrato.
2. Carga eléctrica
El material objetivo, a menudo oro u otros metales, se carga eléctricamente para que actúe como cátodo.
Esta carga inicia una descarga luminosa entre el cátodo y el ánodo, creando un plasma.
3. Acción de pulverización catódica
En el plasma, los electrones libres del cátodo colisionan con los átomos de argón, ionizándolos y formando iones de argón cargados positivamente.
A continuación, estos iones son acelerados hacia el material objetivo cargado negativamente debido al campo eléctrico.
Al impactar, desprenden átomos del blanco en un proceso conocido como sputtering.
4. Deposición
Los átomos pulverizados recorren una trayectoria aleatoria y omnidireccional y acaban depositándose sobre el sustrato, formando una fina película.
El uso de imanes en el sputtering por magnetrón ayuda a controlar la erosión del material objetivo, garantizando un proceso de deposición uniforme y estable.
5. Unión a nivel atómico
Los átomos pulverizados a alta energía se unen fuertemente al sustrato a nivel atómico.
Esto hace que el revestimiento sea una parte permanente del sustrato y no sólo una capa superficial.
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