La velocidad de deposición es un aspecto crucial de los procesos de deposición de películas finas. Mide la rapidez con la que el material se deposita sobre un sustrato.
¿Cuáles son las unidades de la velocidad de deposición? 5 puntos clave que hay que comprender
1. Unidades comunes de velocidad de deposición
Las unidades para la tasa de deposición se expresan típicamente en términos de longitud por unidad de tiempo.
2. Nanómetros por segundo (nm/s)
Una unidad común son los nanómetros por segundo (nm/s).
3. Micrómetros por minuto (μm/min)
Otra unidad común son los micrómetros por minuto (μm/min).
4. Cálculo de la velocidad de deposición
La tasa de deposición, denotada como ( R_{dep} ), puede calcularse mediante la fórmula: [ R_{dep} = A \times R_{sputter} ].
5. Importancia en la deposición de capas finas
La velocidad de deposición es crucial para controlar el espesor y la uniformidad de las películas delgadas.
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