Un evaporador térmico es un dispositivo utilizado en los procesos de deposición al vacío para depositar películas finas de materiales sobre sustratos. Funciona calentando un material hasta su punto de vaporización en un entorno de alto vacío, lo que permite que el vapor se condense en un sustrato, formando una película fina.
Proceso de calentamiento y vaporización:
Los evaporadores térmicos utilizan un calentador de resistencia eléctrica para fundir el material y elevar su presión de vapor a un rango útil. El proceso de calentamiento se lleva a cabo en un alto vacío, que sirve para dos propósitos principales: permite que el vapor se desplace hasta el sustrato sin interactuar con otros átomos en fase gaseosa, y reduce la incorporación de impurezas del gas residual en la cámara de vacío. Este método es adecuado para materiales con una presión de vapor elevada en comparación con el elemento calefactor para evitar la contaminación de la película.Tipos de evaporación térmica:
- Existen dos tipos principales de evaporación térmica:
- Calentamiento por resistencia eléctrica: Este método consiste en calentar el material directamente mediante alambres o en crisoles conductores. Es adecuado para materiales que pueden calentarse a altas temperaturas sin dañar el recipiente.
Evaporación por haz de electrones: Este método más sofisticado utiliza un haz de electrones de alta energía para calentar un pequeño punto del material, lo que permite la evaporación de materiales con presiones de vapor más bajas. El haz de electrones se dobla normalmente en un ángulo grande para proteger el filamento de la pistola del flujo evaporante.
Deposición y formación de películas:
Cuando el material vaporizado llega al sustrato, se condensa y forma una fina película. El espesor de la película puede controlarse ajustando parámetros como la temperatura del evaporante, la velocidad de deposición y la distancia entre el evaporante y el sustrato.Aplicaciones y ventajas:
La evaporación térmica se utiliza ampliamente en la producción de dispositivos electrónicos y ópticos, como células solares, pantallas OLED y MEMS. Se valora por su versatilidad a la hora de depositar una amplia gama de materiales y por su capacidad para producir películas finas de alta calidad.
Consideraciones prácticas:
