El depósito físico en fase vapor (PVD) por evaporación y pulverización catódica son dos métodos habituales para depositar películas finas sobre sustratos. La evaporación consiste en calentar el material de recubrimiento hasta su punto de ebullición en el vacío, lo que provoca su vaporización y posterior condensación en el sustrato. La pulverización catódica, por otro lado, utiliza partículas de alta energía para bombardear un material objetivo, haciendo que los átomos o moléculas sean expulsados y depositados sobre un sustrato.
Evaporación:
En el proceso de evaporación, el material que se va a recubrir se calienta a alta temperatura, normalmente en una cámara de vacío, hasta que alcanza su punto de ebullición y se convierte en vapor. Este vapor atraviesa el vacío y se condensa en la superficie más fría del sustrato, formando una fina película. El calentamiento puede conseguirse mediante diversos métodos, como el calentamiento resistivo o el calentamiento por haz de electrones. La ventaja de la evaporación es su sencillez y la posibilidad de depositar materiales de gran pureza. Sin embargo, puede no ser adecuada para depositar películas multicomponente o películas con puntos de fusión elevados.Pulverización catódica:
La pulverización catódica implica el uso de una descarga de plasma para expulsar átomos de un material objetivo. El objetivo, que es el material que se va a depositar, se bombardea con iones de alta energía (normalmente iones de argón) en un entorno de baja presión. El impacto de estos iones hace que los átomos del blanco sean expulsados y posteriormente depositados sobre el sustrato. El sputtering puede realizarse mediante diferentes técnicas, como el sputtering por diodos, el sputtering por magnetrón y el sputtering por haz de iones. La ventaja del sputtering es su versatilidad para depositar una amplia gama de materiales, incluidas aleaciones y compuestos, y la posibilidad de controlar las propiedades de la película ajustando los parámetros del proceso. Sin embargo, los sistemas de sputtering suelen ser más complejos y requieren una mayor inversión inicial en comparación con los sistemas de evaporación.
