La pulverización catódica es un proceso físico en el que los átomos de un material objetivo sólido son expulsados a la fase gaseosa debido al bombardeo de iones energéticos. Este proceso se utiliza ampliamente para la deposición de películas finas y diversas técnicas analíticas. El mecanismo del sputtering implica el intercambio de momento entre los iones incidentes y los átomos del blanco, lo que conduce a la expulsión de átomos de la superficie del blanco.
Mecanismo del sputtering:
El proceso de pulverización catódica puede visualizarse como una serie de colisiones a nivel atómico, similar a una partida de billar. Los iones energéticos (análogos a la bola blanca) chocan contra un material objetivo (análogo a un grupo de bolas de billar). La colisión primaria transfiere energía a los átomos del blanco, iniciando una cascada de colisiones dentro del material. Como resultado, algunos átomos cercanos a la superficie adquieren suficiente energía para superar las fuerzas de unión del sólido y son expulsados.Rendimiento de la pulverización catódica:
La eficacia del proceso de pulverización catódica se cuantifica mediante el rendimiento de pulverización catódica, que es el número de átomos expulsados de la superficie por cada ion incidente. Los factores que influyen en el sputter yield incluyen la energía y la masa de los iones incidentes, la masa de los átomos objetivo y la energía de enlace del sólido. Una mayor energía y masa de los iones incidentes suele aumentar el rendimiento de la pulverización catódica.
Aplicaciones de la pulverización catódica:
El sputtering se utiliza ampliamente en la deposición de películas finas, que son cruciales en diversas industrias como la electrónica, la óptica y la nanotecnología. La técnica permite la deposición precisa de materiales a bajas temperaturas, lo que la hace adecuada para el recubrimiento de sustratos sensibles como el vidrio, los metales y los semiconductores. El sputtering también se emplea en técnicas analíticas y procesos de grabado, lo que permite crear patrones y estructuras intrincados.Tipos de técnicas de pulverización catódica:
