La evaporación térmica es un proceso utilizado en la deposición física de vapor (PVD) en el que un material sólido se calienta hasta su punto de evaporación en un entorno de alto vacío, lo que provoca que se convierta en vapor. A continuación, este vapor viaja a través de la cámara de vacío y se condensa en un sustrato, formando un recubrimiento de película fina.
5 pasos clave
1. 1. Calentamiento del material
El material sólido se calienta a alta temperatura, ya sea por calentamiento Joule (evaporación resistiva) o mediante un haz concentrado de electrones de alta energía (evaporación por haz de electrones). Este calentamiento provoca la evaporación o sublimación del material, convirtiéndolo en vapor.
2. Transporte de vapor
El material vaporizado, bajo la influencia de su presión de vapor, viaja a través de la cámara de alto vacío. El entorno de vacío garantiza que la corriente de vapor no reaccione ni se disperse contra otros átomos, manteniendo su integridad.
3. Deposición sobre el sustrato
El vapor llega al sustrato y se condensa al contacto, formando una fina película. Esta película puede ser de diversos materiales, dependiendo del material fuente utilizado en el proceso de evaporación.
4. Mecanismos de calentamiento
En la evaporación resistiva, el material se coloca en un bote resistivo y se calienta haciendo pasar una corriente eléctrica a través de él, haciendo que se caliente debido a su resistencia eléctrica. En la evaporación por haz de electrones, se dirige un haz de electrones de alta energía al material, calentándolo directamente y provocando la evaporación.
5. Entorno de vacío
El entorno de alto vacío es crucial, ya que impide que el vapor interactúe con las moléculas de aire, lo que podría causar dispersión o reacciones químicas no deseadas. Esto garantiza que el vapor se desplace en línea recta y se deposite uniformemente sobre el sustrato.
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