La deposición física de vapor (PVD) implica varios tipos de procesos que transforman los materiales de una fase condensada a una fase de vapor y luego de nuevo a una fina película condensada sobre un sustrato. Los principales tipos de procesos PVD son la pulverización catódica y la evaporación, cada uno con sus propias subtécnicas y aplicaciones.
Pulverización catódica es un proceso en el que los átomos de un material objetivo sólido son expulsados por medios energéticos a una fase gaseosa y, a continuación, se depositan sobre un sustrato. Esta técnica incluye varios subtipos:
- Pulverización catódica por magnetrón: Utiliza un campo magnético para atrapar electrones cerca de la superficie del blanco, aumentando la ionización del gas de pulverización catódica y mejorando la velocidad de pulverización catódica.
- Pulverización catódica por haz de iones: Consiste en dirigir un haz de iones focalizado sobre el blanco para expulsar el material.
- Pulverización catódica reactiva: Combina la pulverización catódica con un gas reactivo para formar películas compuestas, como óxidos o nitruros.
- Pulverización catódica asistida por iones: Añade un haz de iones al proceso para mejorar las propiedades de la película.
- Pulverización catódica con flujo de gas: Controla el flujo de gas para optimizar el proceso de deposición.
Evaporación Consiste en calentar un material de partida para que se evapore y se condense sobre un sustrato más frío, formando una película fina. Este proceso puede clasificarse en
- Evaporación térmica: Calienta directamente el material mediante calentamiento resistivo o inductivo.
- Evaporación por haz de electrones (E-beam): Utiliza un haz de electrones para calentar el material, lo que permite evaporar materiales de mayor fusión.
Estas técnicas de PVD se utilizan para depositar diversos materiales, como metales, aleaciones y cerámicas, con aplicaciones que van desde funciones mecánicas y ópticas hasta químicas y electrónicas. La elección de la técnica depende de los requisitos específicos de la película fina, como la adherencia, la densidad y la pureza.
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