La calibración de un vacío se refiere al proceso de verificar que los instrumentos utilizados para medir la presión de vacío están proporcionando mediciones precisas. Esto se hace comparando las mediciones producidas por los instrumentos con las de un estándar o tolerancias permitidas. La calibración periódica es importante para garantizar una precisión repetible en las mediciones de la presión de vacío.
Para determinar la precisión necesaria para trabajar con vacío, es necesario tener en cuenta la aplicación específica y sus requisitos de control del vacío. Para determinadas aplicaciones, como los hornos de secado al vacío o la filtración, el control del vacío puede no ser absolutamente necesario. Sin embargo, para otras aplicaciones, el control del vacío es obligatorio.
La calibración de un vacío implica varios componentes y sistemas. Entre ellos, un panel de regulación y control (que puede incluir un PLC de seguridad y software), un sistema de agua de refrigeración para satisfacer las necesidades de refrigeración del horno y las bombas, un sistema de suministro de gas con un sofisticado control de la presión y la medición de la pureza del gas mediante mediciones del punto de rocío.
En términos de precisión de las mediciones, la forma y las dimensiones de cada pieza antes del montaje y de las cámaras de vacío montadas son importantes. Estas mediciones requieren a menudo un control tridimensional con una precisión del orden de micrómetros. Las herramientas manuales como cintas métricas y calibres pueden no ser suficientes en estas situaciones, por lo que se suelen utilizar máquinas de medición por coordenadas (MMC) de puente. Sin embargo, puede resultar complicado trasladar cámaras de vacío de gran tamaño a una sala de medición y colocarlas en una MMC. También puede ser necesario realizar mediciones in situ, lo que requiere conocimientos de medición de alto nivel y varias personas para las cámaras de gran tamaño.
Trabajar en condiciones de alto vacío (HV), ultra alto vacío (UHV) y extremo alto vacío (XHV) requiere una cuidadosa consideración del diseño del sistema y de los materiales utilizados. La planitud de las caras frontales y de las superficies de sellado de las aberturas y juntas de una cámara de vacío debe medirse con precisión. Los errores de planitud pueden provocar problemas como fugas y afectar a la precisión operativa de las cámaras de vacío. Es importante realizar inspecciones cuidadosas, medir la precisión del mecanizado durante el proceso de fabricación y comparar las mediciones con los datos de diseño CAD.
En general, la calibración de un vacío implica garantizar mediciones precisas de la presión de vacío, considerar los requisitos específicos de control de vacío de la aplicación y medir cuidadosamente la forma y las dimensiones de las cámaras de vacío y sus componentes.
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