El sputtering magnetrónico, en particular el sputtering magnetrónico de corriente continua, es una técnica de deposición que utiliza un campo magnético para mejorar la generación de plasma cerca de la superficie del objetivo, lo que conduce a una deposición eficaz de la película fina. El principio implica la aplicación de un voltaje de corriente continua a un material objetivo en una cámara de vacío, creando un plasma que bombardea el objetivo y expulsa átomos que posteriormente se depositan sobre un sustrato.
Resumen del principio:
El sputtering por magnetrón de corriente continua funciona aplicando un voltaje de corriente continua (CC) a un material objetivo, normalmente un metal, colocado en una cámara de vacío. La cámara se llena con un gas inerte, normalmente argón, y se evacua a baja presión. El campo magnético sobre el objetivo aumenta el tiempo de permanencia de los electrones, lo que favorece las colisiones con los átomos de argón y aumenta la densidad del plasma. Este plasma, energizado por el campo eléctrico, bombardea el blanco, haciendo que los átomos sean expulsados y depositados como una fina película sobre un sustrato.
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Explicación detallada:
- Configuración e inicialización:
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El proceso comienza con la colocación del material en una cámara de vacío, que se evacua para eliminar impurezas y se rellena con argón de gran pureza. Esta configuración garantiza un entorno limpio para la deposición y utiliza argón por su capacidad para transferir eficazmente la energía cinética en el plasma.
- Aplicación de campos eléctricos y magnéticos:
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Se aplica una tensión continua (normalmente de -2 a -5 kV) al blanco, convirtiéndolo en cátodo. Este voltaje crea un campo eléctrico que atrae los iones de argón cargados positivamente. Simultáneamente, se aplica un campo magnético sobre el blanco, que guía a los electrones en trayectorias circulares y aumenta su interacción con los átomos de argón.
- Aumento de la generación de plasma:
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El campo magnético aumenta la probabilidad de colisiones entre electrones y átomos de argón cerca de la superficie del blanco. Estas colisiones ionizan más argón, lo que provoca un efecto cascada en el que se generan más electrones, aumentando aún más la densidad del plasma.
- Pulverización catódica y deposición:
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Los iones de argón energéticos acelerados por el campo eléctrico bombardean el blanco, provocando la expulsión de átomos (sputtering). Estos átomos expulsados se desplazan en una distribución lineal y se condensan en el sustrato, formando una película fina y uniforme.
- Ventajas y modificaciones:
En comparación con otras técnicas de deposición, el sputtering por magnetrón de corriente continua ofrece una gran velocidad, daña poco el sustrato y funciona a temperaturas más bajas. Sin embargo, puede verse limitado por la relación de ionización de las moléculas, que se soluciona con técnicas como el sputtering por magnetrón mejorado con plasma.Revisión y corrección:
