Los cátodos para sputtering funcionan utilizando partículas de alta energía para expulsar físicamente átomos de un material sólido, que se depositan sobre un sustrato formando una fina película.
Este proceso tiene lugar en un entorno de vacío para evitar interacciones no deseadas con el aire u otros gases.
Explicación de los 6 pasos clave
1. Entorno de vacío
El cátodo para sputtering se coloca dentro de una cámara de vacío.
Este entorno es crucial, ya que impide que el material del cátodo interactúe con el aire u otros gases que podrían interferir en el proceso de sputtering.
El vacío también garantiza que los átomos expulsados del cátodo se desplacen sin obstáculos hasta el sustrato.
2. Partículas de alta energía
El proceso de sputtering consiste en bombardear el blanco con partículas de alta energía, normalmente iones.
Estas partículas tienen energías cinéticas a partir de decenas de electronvoltios (eV).
Una parte de estas partículas se ioniza, por lo que el sputtering se considera una aplicación de plasma.
3. Eyección de átomos
Cuando las partículas de alta energía golpean la superficie del blanco, transfieren su energía a los átomos del blanco.
Esta transferencia de energía es tan significativa que físicamente expulsa (o "echa") átomos del material objetivo.
Esta expulsión es el mecanismo central del sputtering.
4. Deposición sobre el sustrato
Los átomos expulsados del blanco se dirigen hacia un sustrato, que suele estar montado frente al blanco.
Estos átomos se depositan sobre el sustrato, formando una fina película.
La deposición se produce de forma rápida y uniforme, lo que permite recubrir incluso materiales sensibles al calor, como los plásticos, con metales o cerámicas sin un calentamiento significativo.
5. Control de la energía de las partículas
Para sustratos sensibles, la cámara de vacío puede llenarse hasta cierto punto con un gas inerte.
Este gas ayuda a controlar la energía cinética de las partículas expulsadas haciendo que sufran colisiones y pierdan algo de velocidad antes de llegar al sustrato, evitando así que se dañe.
6. Aplicaciones
Los cátodos para sputtering se utilizan ampliamente en diversos campos como la microelectrónica, donde depositan películas finas de materiales como aluminio, cobre y titanio sobre obleas de silicio para crear dispositivos electrónicos.
También se utilizan en la producción de células solares de película fina, optoelectrónica y revestimientos decorativos.
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