Los componentes del proceso MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) incluyen el sistema de suministro de la fuente, el sistema de transporte y control de flujo del gas, la cámara de reacción y el sistema de control de temperatura, el sistema de tratamiento del gas de cola y el sistema de alarma de protección de seguridad, así como el sistema de funcionamiento automático y control electrónico. Cada componente desempeña un papel crucial en el funcionamiento preciso y seguro del proceso MOCVD.
Sistema de suministro de la fuente:
El sistema de suministro de la fuente en MOCVD es responsable de proporcionar los precursores metal-orgánicos y los gases reactivos necesarios. Estos precursores suelen ser compuestos metalorgánicos, y los gases reactivos pueden incluir hidrógeno, nitrógeno u otros gases inertes. El sistema garantiza que estos materiales lleguen a la cámara de reacción de forma controlada, lo que es fundamental para la calidad y reproducibilidad del crecimiento de la película fina.Sistema de transporte de gas y control de flujo:
Este sistema es integral para mezclar los precursores y los gases reactivos a la entrada de la cámara de reacción. Funciona en condiciones controladas de flujo y presión para garantizar la distribución y concentración adecuadas de los gases. La precisión en el flujo de gases es esencial para mantener las reacciones químicas deseadas durante el proceso de deposición.
Cámara de reacción y sistema de control de temperatura:
La cámara de reacción es donde se produce la deposición real de los materiales sobre el sustrato. Suele ser una cámara de cuarzo o acero inoxidable de pared fría que funciona a presión atmosférica o baja presión. El sistema de control de temperatura mantiene el sustrato a una temperatura precisa, normalmente entre 500-1200°C, que es crucial para las reacciones de descomposición térmica necesarias para el crecimiento de la película.Tratamiento del gas de cola y sistema de alarma de protección de seguridad:
Dada la naturaleza inflamable, explosiva y tóxica de los materiales fuente utilizados en el MOCVD, es necesario un sólido sistema de tratamiento de los gases de cola para manipular y neutralizar de forma segura estos gases una vez que se han utilizado en la cámara de reacción. El sistema de alarma de protección de seguridad supervisa el sistema para detectar cualquier peligro potencial y avisa a los operadores de cualquier problema, garantizando la seguridad del proceso.
