La alta temperatura para los procesos CVD (deposición química en fase vapor) suele oscilar entre 600 y 1100°C. Sin embargo, en el caso del CVD térmico, las superficies deben mantenerse a temperaturas entre 800 y 1000°C. Estas altas temperaturas son necesarias para facilitar las reacciones químicas y la deposición del material deseado sobre el sustrato.
Es importante señalar que las altas temperaturas que se alcanzan en los procesos de CVD pueden tener efectos térmicos significativos en el material del sustrato. Por ejemplo, los aceros pueden calentarse hasta la región de la fase austenita, y puede ser necesario un tratamiento térmico adicional para optimizar las propiedades del sustrato.
También existen variantes del CVD, como el CVD asistido por plasma (PACVD), que utiliza descargas eléctricas en un gas a baja presión para acelerar la reacción del CVD. Esto puede reducir las temperaturas de reacción en varios cientos de grados Celsius.
En general, los requisitos de temperatura para los procesos CVD dependen de la aplicación específica y de la naturaleza del material depositado. Es fundamental mantener el intervalo de temperatura adecuado para conseguir las propiedades de recubrimiento y la fuerza de adhesión deseadas.
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