El sputtering DC es una técnica de deposición física de vapor (PVD) utilizada para depositar películas finas sobre sustratos. Implica el uso de un voltaje de corriente continua (CC) para crear un plasma en un entorno de gas a baja presión, normalmente argón. El proceso implica el bombardeo de un material objetivo con iones de argón, lo que provoca la expulsión de átomos del objetivo y su posterior depósito sobre un sustrato, formando una película fina.
Mecanismo del sputtering DC:
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Creación de un vacío:
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El proceso comienza creando un vacío dentro de la cámara de sputtering. Este paso es crucial por varias razones: garantiza la limpieza y mejora el control del proceso al aumentar el recorrido libre medio de las partículas. En el vacío, las partículas pueden recorrer distancias más largas sin colisionar, lo que permite que los átomos pulverizados alcancen el sustrato sin interferencias, dando lugar a una deposición más uniforme y suave.Formación de plasma y bombardeo iónico:
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Una vez establecido el vacío, se llena la cámara con un gas inerte, normalmente argón. Se aplica una tensión continua entre el blanco (cátodo) y el sustrato (ánodo), creando una descarga de plasma. En este plasma, los átomos de argón se ionizan en iones de argón. Estos iones son acelerados hacia el blanco cargado negativamente por el campo eléctrico, ganando energía cinética.
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Pulverización catódica del material objetivo:
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Los iones de argón energéticos chocan con el material del blanco, provocando la expulsión de átomos del mismo. Este proceso, conocido como pulverización catódica, se basa en la transferencia de impulso de los iones de alta energía a los átomos del blanco. Los átomos expulsados se encuentran en estado de vapor y se denominan átomos pulverizados.Deposición sobre sustrato:
Los átomos pulverizados viajan a través del plasma y se depositan sobre el sustrato, que se mantiene a un potencial eléctrico diferente. Este proceso de deposición da lugar a la formación de una fina película sobre la superficie del sustrato. Las propiedades de la película, como el grosor y la uniformidad, pueden controlarse ajustando parámetros como el voltaje, la presión del gas y la distancia entre el blanco y el sustrato.
Control y aplicaciones:
