El sputtering de corriente continua es una técnica de deposición física de vapor (PVD) que se utiliza para depositar películas finas de materiales sobre un sustrato. El proceso consiste en crear un vacío dentro de una cámara, introducir un gas como el argón y aplicar un voltaje de corriente continua (CC) a un material objetivo. Este voltaje ioniza el gas, formando un plasma que bombardea el objetivo con iones. El impacto de estos iones hace que los átomos del objetivo sean expulsados o "pulverizados" en el plasma. Estos átomos atraviesan el vacío y se depositan sobre el sustrato, formando una fina película.
Creación del vacío:
El primer paso en el sputtering DC es crear un vacío dentro de la cámara de proceso. Esto es crucial por varias razones. En primer lugar, amplía la trayectoria libre media de las partículas, que es la distancia media que recorre una partícula antes de colisionar con otra. En un entorno de baja presión, las partículas pueden recorrer distancias más largas sin colisionar, lo que permite una deposición más uniforme y suave del material objetivo sobre el sustrato.Formación de plasma:
Una vez establecido el vacío, se introduce en la cámara un gas, normalmente argón. A continuación, se aplica una tensión continua entre el objetivo (cátodo) y el sustrato o las paredes de la cámara (ánodo). Este voltaje ioniza el gas argón, creando un plasma formado por iones de argón y electrones.
Bombardeo y pulverización catódica:
El campo eléctrico acelera los iones de argón del plasma hacia el objeto cargado negativamente. Cuando estos iones chocan con el blanco, transfieren su energía cinética a los átomos del blanco, haciendo que algunos de ellos sean expulsados de la superficie. Este proceso se conoce como sputtering.Deposición sobre el sustrato:
Los átomos pulverizados viajan a través del vacío y se depositan sobre el sustrato. Como el camino libre medio es largo debido al vacío, los átomos pueden viajar directamente del blanco al sustrato sin dispersión significativa, lo que da lugar a una película fina uniforme y de alta calidad.
