Los tubos de cuarzo son capaces de soportar una presión considerable.
La resistencia a la tracción de diseño para el cuarzo fundido con buena calidad de superficie es superior a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
Esto significa que el tubo de cuarzo puede soportar presiones de hasta 4,8 x 10^7 Pa o 7.000 psi sin romperse ni fallar.
5 puntos clave
1. Resistencia a la tracción de diseño
La resistencia a la tracción de diseño para el cuarzo fundido con buena calidad superficial es superior a 4,8 x 10^7 Pa (7.000 psi).
2. Sistema de horno LPCVD
En el contexto del mencionado sistema de horno LPCVD, la presión de trabajo se especifica en 45.000 psi (310 MPa).
Esto indica que el tubo de cuarzo utilizado en este sistema está diseñado para soportar presiones de hasta 45.000 psi sin ningún problema.
3. Presión de la cámara de vacío
La cámara de vacío del sistema de deposición mencionado tiene la capacidad de alcanzar una presión mínima en poco tiempo.
La presión dentro de la cámara de vacío juega un papel crucial en el proceso de cobertura de la muestra y la calidad de la película delgada depositada.
Para controlar con precisión la presión dentro de la cámara, se utilizan manómetros fiables y precisos.
El manómetro utilizado en el sistema de deposición mencionado es capaz de mostrar la presión en el rango de presión atmosférica hasta 10^-9 Torr.
4. Importancia de la baja presión
También cabe señalar que mantener una presión baja es importante en determinados procesos para evitar efectos químicos en la muestra.
Por ejemplo, en el caso de una atmósfera de carbono en un horno de vacío, es necesario mantener la presión por debajo de 1 ó 2 mm para evitar cualquier efecto químico apreciable sobre la probeta.
Para proteger la muestra del vapor o las partículas de carbono se suele utilizar un tubo de porcelana refractaria cerrado por un extremo y suspendido de la parte fría del horno.
Este tubo ayuda a disminuir la convención de gases reductores más allá del espécimen, reduciendo la acción reductora global.
5. Capacidad de presión específica
En general, la presión específica que puede soportar un tubo de cuarzo depende de su diseño y calidad.
En las referencias mencionadas, los tubos de cuarzo están diseñados para soportar altas presiones, teniendo el sistema de horno LPCVD una presión de trabajo de 45.000 psi (310 MPa).
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