Los procesos de deposición por plasma son un grupo de técnicas de fabricación avanzadas utilizadas para depositar películas finas de diversos materiales sobre sustratos. Estos procesos utilizan plasma, que es un gas altamente ionizado formado por partículas cargadas, para liberar átomos de un material objetivo y depositarlos sobre el sustrato.
Existen varios métodos de deposición por plasma, como el sputtering, la deposición química en fase vapor (CVD) y la deposición por haz de iones. El sputtering implica tres subprocesos: procesos que tienen lugar en el material objetivo, en el sustrato y en la masa de plasma entre ambos. En la pulverización catódica, los átomos del material objetivo son erosionados por partículas cargadas de alta energía en el plasma y, a continuación, se depositan sobre el sustrato para formar una película fina.
La deposición química en fase vapor (CVD) es un proceso en el que se utiliza energía de plasma, además de energía térmica, para depositar películas finas. El plasma se crea energizando gases reactivos, como el silano o el oxígeno, mediante descargas de radiofrecuencia, corriente continua o microondas. El plasma contiene iones, electrones libres, radicales, átomos excitados y moléculas que reaccionan con el sustrato para depositar recubrimientos de película fina. Las películas depositadas pueden ser de metales, óxidos, nitruros y polímeros.
La deposición química en fase vapor potenciada por plasma (PECVD) es una variante de la CVD que utiliza específicamente la energía del plasma para depositar películas finas. Implica la creación de un plasma de gases reactivos, normalmente mediante radiofrecuencia o descarga de corriente continua entre electrodos. A continuación, el plasma facilita las reacciones químicas que dan lugar a la deposición de películas finas sobre el sustrato.
En general, los procesos de deposición por plasma ofrecen versatilidad y la capacidad de depositar películas finas sobre objetos de distintos tamaños y formas. Estos procesos desempeñan un papel crucial en la fabricación avanzada y se utilizan en diversas industrias, como la electrónica, la óptica y la ciencia de los materiales.
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