Los procesos de deposición por plasma son un grupo de técnicas de fabricación avanzadas utilizadas para depositar películas finas de diversos materiales sobre sustratos.
Estos procesos utilizan plasma, que es un gas altamente ionizado formado por partículas cargadas, para liberar átomos de un material objetivo y depositarlos sobre el sustrato.
Existen varios métodos de deposición por plasma, como el sputtering, la deposición química en fase vapor (CVD) y la deposición por haz de iones.
Explicación de los 5 métodos principales
1. Pulverización catódica
El sputtering implica tres subprocesos: procesos que tienen lugar en el material objetivo, en el sustrato y en la masa de plasma entre ambos.
En el sputtering, los átomos del material objetivo son erosionados por partículas cargadas de alta energía en el plasma y luego depositados sobre el sustrato para formar una película delgada.
2. Deposición química en fase vapor (CVD)
La deposición química en fase vapor (CVD) es un proceso en el que se utiliza energía de plasma, además de energía térmica, para depositar películas finas.
El plasma se crea energizando gases reactivos, como el silano o el oxígeno, mediante radiofrecuencia, corriente continua o descarga de microondas.
El plasma contiene iones, electrones libres, radicales, átomos excitados y moléculas que reaccionan con el sustrato para depositar recubrimientos de película fina.
Las películas depositadas pueden ser de metales, óxidos, nitruros y polímeros.
3. Deposición química en fase vapor potenciada por plasma (PECVD)
El depósito químico en fase vapor potenciado por plasma (PECVD) es una variante del CVD que utiliza específicamente la energía del plasma para depositar películas finas.
Implica la creación de un plasma de gases reactivos, normalmente mediante radiofrecuencia o descarga de corriente continua entre electrodos.
A continuación, el plasma facilita las reacciones químicas que dan lugar a la deposición de películas finas sobre el sustrato.
4. Deposición por haz de iones
La deposición por haz de iones es otro método que utiliza un haz concentrado de iones para depositar películas finas sobre un sustrato.
Este método permite un control preciso del proceso de deposición, por lo que es adecuado para aplicaciones que requieren una gran precisión.
5. Otros métodos de deposición por plasma
Existen otros métodos de deposición por plasma menos comunes pero igualmente eficaces, cada uno con sus ventajas y aplicaciones únicas.
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