Un sputter coater es un dispositivo utilizado para depositar películas finas de material sobre un sustrato en un entorno de vacío.
El proceso implica el uso de una descarga luminosa para erosionar un material objetivo, normalmente oro, y depositarlo sobre la superficie de una muestra.
Este método es beneficioso para mejorar el rendimiento de la microscopía electrónica de barrido al inhibir la carga, reducir el daño térmico y mejorar la emisión de electrones secundarios.
¿Qué hace un recubridor por pulverización catódica? 5 puntos clave que hay que comprender
1. Formación de la descarga luminiscente
El sputter coater inicia el proceso formando una descarga luminiscente en una cámara de vacío.
Esto se consigue introduciendo un gas, normalmente argón, y aplicando una tensión entre un cátodo (blanco) y un ánodo.
Los iones del gas se energizan y forman un plasma.
2. Erosión del blanco
Los iones de gas energizados bombardean el material del blanco, provocando su erosión.
Esta erosión, conocida como pulverización catódica, expulsa átomos del material objetivo.
3. 3. Deposición sobre el sustrato
Los átomos expulsados del material objetivo se desplazan en todas direcciones y se depositan sobre la superficie del sustrato.
Esta deposición forma una fina película que es uniforme y se adhiere fuertemente al sustrato debido al entorno de alta energía del proceso de sputtering.
4. Ventajas para la microscopía electrónica de barrido
El sustrato recubierto por sputtering es beneficioso para la microscopía electrónica de barrido, ya que evita que la muestra se cargue, reduce los daños térmicos y mejora la emisión de electrones secundarios.
Esto mejora la capacidad de obtención de imágenes del microscopio.
5. Aplicaciones y ventajas
El proceso de sputtering es versátil y puede utilizarse para depositar una gran variedad de materiales, lo que lo hace adecuado para crear productos duraderos, ligeros y pequeños en diversas industrias.
Entre sus ventajas se incluyen la capacidad de recubrir materiales de alto punto de fusión, la reutilización de los materiales objetivo y la ausencia de contaminación atmosférica.
Sin embargo, el proceso puede ser complejo, costoso y generar impurezas en el sustrato.
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