La evaporación en semiconductores es una técnica de deposición de películas finas en la que los materiales de partida se calientan a altas temperaturas, lo que provoca su evaporación o sublimación en forma de vapor. A continuación, este vapor se condensa en los sustratos, formando una fina capa del material. Este proceso se realiza normalmente en alto vacío para garantizar la pureza e integridad de la película depositada.
Explicación detallada:
-
Calentamiento y evaporación:
-
El proceso comienza calentando el material de partida hasta su punto de evaporación. Esto puede conseguirse mediante diferentes métodos, como la evaporación por haz de electrones o la evaporación térmica. En la evaporación por haz de electrones, se utiliza un haz de electrones altamente cargado para calentar y evaporar el material. En la evaporación térmica, se emplea el calentamiento resistivo para generar presión de vapor a partir del material.Entorno de vacío:
-
La evaporación se produce en un entorno de alto vacío. Este vacío es crucial ya que minimiza las colisiones de gases y las reacciones no deseadas con el material evaporado. También ayuda a mantener un largo camino libre medio para las partículas de vapor, lo que les permite viajar directamente al sustrato sin interferencias significativas.
-
Deposición sobre sustrato:
-
Una vez evaporado, el material se desplaza en forma de vapor y se deposita sobre el sustrato. Normalmente, el sustrato se mantiene a una distancia y orientación específicas con respecto al material de origen para garantizar una deposición uniforme. A medida que el vapor alcanza el sustrato más frío, se condensa y vuelve a convertirse en sólido, formando una fina película.Control y ajuste:
El espesor y la calidad de la película depositada pueden controlarse ajustando varios parámetros, como la temperatura del evaporante, la velocidad de deposición y la distancia entre el evaporante y el sustrato. Este control es esencial para conseguir las propiedades deseadas en la película depositada, lo cual es crucial para aplicaciones en semiconductores.
Aplicaciones:
