La evaporación por haz electrónico es un proceso que utiliza una amplia gama de materiales, como metales, cerámicas y dieléctricos.
Estos materiales se seleccionan porque tienen puntos de fusión elevados, lo que es esencial para depositar películas finas sobre diversos sustratos.
Explicación de 7 materiales clave
1. Metales tradicionales
Los metales tradicionales utilizados en la evaporación por haz electrónico incluyen aluminio, cobre, níquel, titanio, estaño y cromo.
2. Metales preciosos
Los metales preciosos como el oro, la plata y el platino también se utilizan habitualmente en este proceso.
3. Metales refractarios
Los metales refractarios, como el tungsteno y el tántalo, se eligen por su capacidad para soportar temperaturas extremadamente altas.
4. Otros materiales
Otros materiales son el óxido de indio y estaño y el dióxido de silicio, que se utilizan para aplicaciones específicas.
5. Materiales de sustrato
Los sustratos sobre los que se depositan estos materiales pueden variar mucho.
Entre los sustratos más comunes se encuentran las obleas de silicio, cuarzo y zafiro para la electrónica y el nitruro de silicio para la cerámica.
También se utiliza el vidrio, especialmente en aplicaciones como paneles solares y vidrio arquitectónico.
6. Componentes del sistema
La evaporación por haz de electrones consta de varios componentes clave:
- Cámara de vacío: Es esencial para mantener un entorno limpio y evitar la contaminación.
- Fuente del haz de electrones: Típicamente un filamento hecho de tungsteno, que libera electrones enfocados en un haz por imanes.
- Crisol: Este contiene el material fuente y puede estar hecho de cobre, tungsteno o cerámica técnica, dependiendo de los requisitos de temperatura.
7. Desventajas
A pesar de sus ventajas, los sistemas de evaporación por haz electrónico requieren altos voltajes, que pueden ser peligrosos y exigen amplias precauciones de seguridad.
Además, la configuración y el mantenimiento de estos sistemas pueden ser complejos y costosos.
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