La evaporación por haz electrónico utiliza una amplia gama de materiales, como metales, cerámicas y dieléctricos. Estos materiales se eligen por sus altos puntos de fusión y se utilizan para depositar películas finas sobre diversos sustratos.
Materiales de evaporación:
- La evaporación por haz electrónico es especialmente adecuada para materiales con altas temperaturas de fusión. Esto incluyeMetales tradicionales:
- Aluminio, cobre, níquel, titanio, estaño y cromo.Metales preciosos:
- Oro, plata y platino.Metales refractarios:
- Tungsteno y tántalo.Otros materiales:
Óxido de indio y estaño, dióxido de silicio, etc.
Estos materiales se eligen por su capacidad para soportar las altas temperaturas generadas por el haz de electrones, que pueden alcanzar más de 2.000 grados Celsius. La versatilidad de la evaporación por haz electrónico permite depositar estos materiales sobre diversos sustratos.Materiales de sustrato:
- Los sustratos sobre los que se depositan estos materiales también pueden variar ampliamente, incluyendo:
- Electrónica: Obleas de silicio, cuarzo y zafiro.
- Cerámica: Nitruro de silicio.
Vidrio:
Común en aplicaciones como paneles solares y vidrio arquitectónico.La elección del sustrato depende de la aplicación prevista y de las propiedades exigidas al producto final.
- Aplicaciones y componentes del sistema:
- La evaporación por haz de electrones se utiliza en múltiples industrias para aplicaciones que requieren resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste y a los productos químicos, o propiedades ópticas específicas. El proceso consta de varios componentes clave:Cámara de vacío:
- Esencial para mantener un entorno limpio y evitar la contaminación de los materiales evaporados.Fuente de haz de electrones:
Normalmente un filamento hecho de tungsteno, calentado para liberar electrones que luego se concentran en un haz mediante imanes.
Crisol: Contiene el material fuente y puede estar hecho de materiales como cobre, tungsteno o cerámica técnica, dependiendo de los requisitos de temperatura del proceso de evaporación.
El sistema está diseñado para manejar grandes volúmenes de producción por lotes, lo que lo hace eficaz para procesos de fabricación en industrias como la aeroespacial, la automovilística y la electrónica.
Desventajas:
