El sputtering de magnetrón es una técnica ampliamente utilizada en diversas industrias para la deposición de recubrimientos.
5 Razones clave por las que se utiliza el sputtering de magnetrón
1. Mayor tasa de deposición
El sputtering de magnetrón es una técnica de deposición al vacío de alta velocidad.
Puede depositar materiales sobre sustratos a mayor velocidad que otros métodos.
Esto es especialmente ventajoso para las industrias que requieren una producción a gran escala o que necesitan cumplir plazos ajustados.
2. Ionización mejorada
El uso de un campo magnético en el sputtering por magnetrón atrapa electrones secundarios cerca del blanco.
Estos electrones siguen trayectorias helicoidales alrededor de las líneas del campo magnético.
Esto aumenta el número de colisiones ionizantes con el gas neutro cercano al blanco.
Esta ionización mejorada conduce a una mayor velocidad de pulverización catódica, lo que permite una deposición más eficiente de átomos sobre el sustrato.
3. Funcionamiento a baja presión
El campo magnético del sputtering por magnetrón permite mantener el plasma a presiones más bajas.
Esto tiene múltiples ventajas.
Reduce la incorporación de gas en la película, lo que se traduce en una película de mayor calidad.
También minimiza las pérdidas de energía en los átomos pulverizados.
El funcionamiento a menor presión ayuda a evitar el sobrecalentamiento o daños en el objeto que se recubre.
4. Control de la trayectoria de transmisión del plasma
El campo magnético en el sputtering por magnetrón controla la trayectoria de transmisión del plasma.
Las líneas magnéticas formadas por el campo magnético dirigen el plasma de un extremo al otro del blanco.
Este control sobre la trayectoria de transmisión del plasma permite una deposición eficaz del revestimiento.
También ayuda a mantener la superficie de recubrimiento deseada.
5. Escalabilidad y versatilidad
El sputtering con magnetrón es conocido por su excepcional escalabilidad en comparación con otros métodos de deposición física en fase vapor.
Puede utilizarse para diversas aplicaciones.
Puede adaptarse a diferentes configuraciones geométricas de blancos, como formas circulares, rectangulares o tubulares.
Esta versatilidad hace que el sputtering por magnetrón sea una técnica muy utilizada en industrias como la microelectrónica y el vidrio arquitectónico.
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