La deposición química en fase vapor (CVD) de carburo de silicio (SiC) es un proceso utilizado para sintetizar cristales de SiC de alta calidad, principalmente para su uso en la fabricación de productos electrónicos. Este método implica el uso de la deposición química en fase vapor a alta temperatura (HTCVD), que funciona a temperaturas que oscilan entre los 2000°C y los 2300°C. En este proceso, se introduce una mezcla de gases de reacción en un reactor cerrado donde se descomponen y reaccionan en la superficie de un material de sustrato, formando una película sólida de cristales de SiC. Esta película sigue creciendo a medida que se suministran continuamente los gases de reacción y se eliminan los productos sólidos de la superficie del sustrato.
Explicación detallada:
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Configuración del reactor y control de la temperatura:
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El proceso HTCVD para la deposición de SiC tiene lugar en un reactor cerrado, que se calienta externamente para mantener las altas temperaturas necesarias para las reacciones químicas implicadas. Estas temperaturas suelen oscilar entre 2.000 °C y 2.300 °C, lo que garantiza que los gases de reacción se descompongan eficazmente y reaccionen con el sustrato.Reacciones químicas y mezclas de gases:
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Los gases de reacción utilizados en el proceso suelen ser una mezcla de compuestos volátiles de silicio y carbono. Al alcanzar el entorno de alta temperatura del reactor, estos gases se descomponen y reaccionan en la superficie del sustrato. La composición exacta de la mezcla de gases y las reacciones específicas pueden variar, pero el objetivo general es depositar una capa de SiC sobre el sustrato.
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Crecimiento y mecanismo de la película:
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A medida que los gases de reacción se descomponen y reaccionan, forman una película sólida de SiC sobre el sustrato. Esta película crece capa a capa a medida que se introduce más gas y reacciona. Los productos sólidos, que ya no son necesarios, se desprenden y se alejan de la superficie del sustrato, lo que permite un crecimiento continuo de la película de SiC.Aplicaciones y ventajas:
El SiC producido por CVD destaca por su baja resistencia eléctrica, lo que lo convierte en un razonable conductor de la electricidad. Esta propiedad es especialmente útil en la fabricación de piezas de precisión, donde pueden emplearse técnicas como el mecanizado por descarga eléctrica (EDM) para crear características finas y agujeros de alta relación de aspecto. Además, el CVD permite el crecimiento de películas monocristalinas de SiC con dopaje controlado, lo que aumenta su utilidad en la fabricación de componentes electrónicos.
