Tanto el sputtering como la evaporación son métodos de deposición física en fase vapor (PVD), pero difieren en la forma de crear películas de recubrimiento.
La pulverización catódica es un proceso en el que iones energéticos colisionan con un material objetivo, provocando la expulsión o pulverización catódica de átomos del material objetivo. Este método puede realizarse mediante haz de iones o pulverización catódica por magnetrón. El sputtering ofrece una mejor calidad y uniformidad de la película, lo que se traduce en un mayor rendimiento. También tiene una mejor cobertura por pasos, lo que da lugar a una cobertura más uniforme de la película fina en superficies irregulares. El sputtering tiende a depositar películas finas más lentamente que la evaporación. El sputtering por magnetrón, en particular, es un método de recubrimiento basado en plasma en el que iones cargados positivamente procedentes de plasma confinado magnéticamente colisionan con materiales fuente cargados negativamente. Este proceso se produce en un campo magnético cerrado, que atrapa mejor los electrones y aumenta la eficacia. Produce una película de buena calidad y ofrece la mayor escalabilidad entre los métodos de PVD.
La evaporación, por su parte, se basa en calentar un material fuente sólido por encima de su temperatura de vaporización. Puede realizarse mediante evaporación térmica resistiva o evaporación por haz electrónico. La evaporación es más rentable y menos compleja que el sputtering. Ofrece tasas de deposición más altas, lo que permite un alto rendimiento y una producción de gran volumen. La energía implicada en los procesos de evaporación térmica depende de la temperatura del material fuente que se está evaporando, lo que da lugar a menos átomos de alta velocidad y reduce la posibilidad de dañar el sustrato. La evaporación es adecuada para películas finas de metales o no metales, especialmente aquellos con temperaturas de fusión más bajas. Se suele utilizar para depositar metales, metales refractarios, películas finas ópticas y otras aplicaciones.
En resumen, el sputtering implica la colisión de iones con un material objetivo para expulsar átomos, mientras que la evaporación se basa en el calentamiento de un material fuente sólido por encima de su temperatura de vaporización. El sputtering ofrece una mejor calidad de película, uniformidad y cobertura por pasos, pero es más lento y complejo. La evaporación es más rentable, ofrece mayores velocidades de deposición y es adecuada para películas más finas, pero puede tener una calidad de película y una cobertura de paso inferiores. La elección entre sputtering y evaporación depende de factores como el espesor de la película, las propiedades del material y la calidad deseada de la película.
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