El CVD (depósito químico en fase vapor) ofrece varias ventajas sobre el PVD (depósito físico en fase vapor), principalmente debido a sus características de proceso y a la naturaleza de los revestimientos que puede producir. Estas ventajas incluyen la capacidad de operar a presiones más altas, la capacidad de depositar películas conformadas sobre superficies irregulares y la producción de revestimientos uniformes de alta calidad. Además, el CVD puede tratar materiales como el Al2O3, difíciles de procesar con los métodos convencionales de PVD.
Mayor presión operativa y menores costes de equipo:
Los procesos CVD operan a presiones significativamente más altas en comparación con PVD, lo que elimina la necesidad de bombas de alto vacío. Esta reducción de los requisitos de la tecnología de vacío puede reducir los costes de los equipos, especialmente si el sistema no necesita una amplia infraestructura de gestión de gases tóxicos.Deposición de películas conformadas sobre superficies irregulares:
La mayor presión y las propiedades de flujo laminar del CVD le permiten depositar películas que no necesitan estar en la línea de visión. Esta característica permite al CVD recubrir uniformemente sustratos con superficies irregulares o sustratos densamente empaquetados. A diferencia del PVD, que a menudo da lugar a recubrimientos desiguales debido a su naturaleza direccional, el CVD puede recubrir uniformemente todas las partes expuestas de una estructura 3D compleja.
Producción de revestimientos uniformes de alta calidad:
El CVD destaca en la producción de recubrimientos con una excelente conformalidad. Puede recubrir uniformemente estructuras 3D complejas, lo que supone una ventaja significativa sobre el enfoque de línea de visión del PVD. El recubrimiento uniforme producido por CVD no tiene efectos direccionales, lo que garantiza una cobertura uniforme y de alta calidad.Manipulación de materiales específicos como el Al2O3:
El CVD tiene una ventaja en el tratamiento de materiales como el Al2O3, que tiene muy buena estabilidad física y química, dureza, resistencia al desgaste y bajo coste. Estas propiedades hacen del Al2O3 un material de revestimiento deseable, y su procesamiento es más factible con CVD que con PVD convencional debido a las limitaciones del proceso de fabricación de PVD.
