Los procesos de deposición en fase vapor implican principalmente dos métodos principales: Deposición química en fase vapor (CVD) y Deposición física en fase vapor (PVD). Cada método tiene mecanismos y pasos distintos que intervienen en la deposición de películas finas sobre un sustrato.
Deposición química en fase vapor (CVD)
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El CVD es un proceso en el que una película sólida se deposita sobre una superficie calentada debido a una reacción química en la fase de vapor. El proceso suele constar de tres pasos principales:Evaporación de un compuesto volátil
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: La sustancia que se va a depositar se convierte primero en una forma volátil, normalmente mediante calentamiento. Este paso garantiza que el material pueda ser transportado en fase vapor hasta el sustrato.Descomposición térmica o reacción química
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: El vapor se descompone térmicamente en átomos y moléculas o reacciona con otros vapores, gases o líquidos en la superficie del sustrato. Este paso es crucial ya que inicia las transformaciones químicas necesarias para la formación de la película.Deposición de productos de reacción no volátiles
: Los productos de la reacción química, que ahora se encuentran en estado no volátil, se depositan sobre el sustrato, formando una fina película. Esta etapa consiste en la formación de la película capa por capa.
Los procesos de CVD suelen requerir altas temperaturas (en torno a 1.000°C) y presiones que van desde unos pocos torr hasta por encima de la presión atmosférica. El método puede mejorarse aún más con plasma, lo que se conoce como CVD mejorado con plasma (PECVD), que permite temperaturas de procesamiento más bajas al añadir energía cinética a las reacciones superficiales.Deposición física en fase vapor (PVD)
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El PVD consiste en la deposición de un material sobre un sustrato en un gas o plasma energizado, normalmente en un vacío parcial. El proceso difiere del CVD en que no implica reacciones químicas, sino procesos físicos como la condensación o la evaporación:
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Generación de vapores: El material se calienta hasta su punto de fusión o superior, generando vapores. Esto puede lograrse mediante diversos métodos como la pulverización catódica, la evaporación o el calentamiento por haz de electrones.
Transporte y deposición
: A continuación, los vapores se transportan en el vacío y se depositan sobre la superficie objetivo. Los átomos o moléculas se esparcen uniformemente, creando un revestimiento de pureza y grosor uniformes.Los procesos PVD son ventajosos por su capacidad para depositar metales y no metales en capas finas átomo a átomo o molécula a molécula. El entorno de vacío utilizado en el PVD permite controlar mejor el proceso de deposición y la calidad de la película.
Comparación y contraste
