La limpieza de un equipo de revestimiento por pulverización catódica es crucial para mantener su rendimiento y longevidad.
A continuación le ofrecemos una guía detallada para ayudarle en el proceso.
¿Cómo se limpia un recubridor por pulverización catódica? - 3 pasos esenciales para mantener su equipo en plena forma
1. Limpieza de la cámara de trabajo
Limpieza de la cámara de vidrio: Limpie a fondo la cámara de cristal con agua caliente y jabón.
Asegúrese de que se seca completamente.
Si hay depósitos persistentes, puede utilizarse un estropajo de cocina.
Evite el uso de disolventes, ya que son innecesarios y suponen riesgos para la salud y la seguridad.
Limpieza de la superficie metálica: Limpie las superficies metálicas con alcohol isopropílico.
Evite utilizar acetona debido a sus riesgos para la salud y la seguridad y a su mayor tiempo de desgasificación, que puede afectar al rendimiento de la aspiradora.
2. Mantenimiento del vacío
Prevención de la aspiración: Aísle siempre la bomba de desbaste de la torre de laca cuando la cámara esté en vacío.
Esto se hace normalmente utilizando una válvula manual.
Por ejemplo, los recubridores por pulverización catódica de alto vacío Quorum tienen una función de "retención de la bomba" que mantiene el vacío cuando el instrumento no está en uso, evitando la contaminación por el aceite de la bomba.
Sequedad del sistema y nivel de vacío: Asegúrese de que el sistema esté seco y alcance el nivel de vacío correcto antes de iniciar el proceso de sputtering.
Esto ayuda a conseguir una buena velocidad de sputtering y evita la contaminación.
Mantenimiento de la bomba: Lastre regularmente las bombas rotativas y repárelas a intervalos regulares para mantener un rendimiento óptimo.
3. Limpieza por pulverización catódica
Sputtering físico: Utilice la pulverización catódica física en vacío para limpiar de contaminantes las superficies de los sólidos.
Este método se utiliza habitualmente en la ciencia de superficies, la deposición en vacío y el metalizado iónico.
Sin embargo, hay que tener cuidado con posibles problemas como el sobrecalentamiento, la incorporación de gas, el daño superficial y la rugosidad.
Asegúrese de que el plasma esté limpio para evitar la recontaminación durante la limpieza por pulverización catódica.
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