Para limpiar un sputter coater, siga estos pasos detallados:
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Limpieza de la cámara de trabajo:
- Limpieza de la cámara de vidrio: Limpie a fondo la cámara de vidrio con agua caliente y jabón. Asegúrese de que se seca completamente. Si hay depósitos persistentes, puede utilizar un estropajo de cocina. Evite el uso de disolventes, ya que son innecesarios y suponen riesgos para la salud y la seguridad.
- Limpieza de la superficie metálica: Limpie las superficies metálicas con alcohol isopropílico. Evite utilizar acetona debido a sus riesgos para la salud y la seguridad y a su mayor tiempo de desgasificación, que puede afectar al rendimiento del aspirador.
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Mantenimiento del vacío:
- Prevención del reflujo: Aísle siempre la bomba de desbaste de la torre de laca cuando la cámara esté en vacío. Para ello se suele utilizar una válvula manual. Por ejemplo, los recubridores por pulverización catódica de alto vacío Quorum tienen una función de "retención de la bomba" que mantiene el vacío cuando el instrumento no está en uso, evitando la contaminación por el aceite de la bomba.
- Sequedad del sistema y nivel de vacío: Asegúrese de que el sistema esté seco y alcance el nivel de vacío correcto antes de iniciar el proceso de sputtering. Esto ayuda a conseguir una buena velocidad de sputtering y evita la contaminación.
- Mantenimiento de la bomba: Lastre regularmente las bombas rotativas y repárelas a intervalos regulares para mantener un rendimiento óptimo.
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Limpieza del sputter:
- Limpieza por pulverización: Utilice el sputtering físico en vacío para limpiar de contaminantes las superficies de los sólidos. Este método se utiliza habitualmente en la ciencia de superficies, la deposición en vacío y el metalizado iónico. Sin embargo, hay que tener cuidado con posibles problemas como el sobrecalentamiento, la incorporación de gas, el daño superficial y la rugosidad. Asegúrese de que el plasma esté limpio para evitar la recontaminación durante la limpieza por pulverización catódica.
Si se siguen estas prácticas de limpieza y mantenimiento, el rendimiento y la longevidad del recubridor por pulverización catódica pueden aumentar considerablemente.
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