La evaporación al vacío es una técnica utilizada principalmente en microelectrónica para depositar películas finas de materiales sólidos sobre sustratos específicos. Este proceso consiste en calentar el material sólido, conocido como evaporante, en un entorno de alto vacío. El evaporante se convierte en vapor y se condensa en el sustrato, formando una fina película. Este método es crucial para crear componentes activos, contactos de dispositivos, interconexiones metálicas y diversos tipos de resistencias y condensadores de película fina.
Mecanismo de evaporación al vacío:
El principio fundamental de la evaporación al vacío es la reducción del punto de ebullición de los materiales bajo presión reducida. En el vacío, la presión atmosférica es significativamente menor que a nivel del mar, lo que permite que los materiales se vaporicen a temperaturas mucho más bajas. Esto es especialmente beneficioso para materiales sensibles que podrían degradarse bajo altas temperaturas.Aplicación en microelectrónica:
En el campo de la microelectrónica, la evaporación en vacío se utiliza para depositar películas finas que cumplen diversas funciones. Por ejemplo, se utiliza para crear interconexiones metálicas en circuitos integrados, que son esenciales para la conductividad eléctrica. Además, se utiliza para depositar resistencias de película fina de bajo coeficiente de temperatura, que son cruciales para mantener una resistencia eléctrica estable en un rango de temperaturas.
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Tipos de evaporación al vacío:
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La referencia menciona dos tipos específicos: evaporación paralela y evaporación rotativa.Evaporación paralela:
Esta técnica consiste en crear un remolino en los tubos de muestra para aumentar la superficie de evaporación. El movimiento de remolino ayuda a una vaporización más rápida. Los sistemas avanzados incorporan bombas de vacío y calentadores para acelerar aún más el proceso y una trampa fría para recoger los gases del disolvente, minimizando la pérdida de muestra y la contaminación cruzada.
Evaporación rotativa:
La evaporación rotativa se utiliza normalmente para eliminar disolventes de bajo punto de ebullición de las muestras. Funciona mediante la rotación de un matraz de muestra en un baño calentado a presión reducida. La rotación garantiza una mayor superficie de evaporación y la presión reducida reduce el punto de ebullición del disolvente, lo que permite que se evapore a temperaturas más bajas. Este método es especialmente útil para separar disolventes de mezclas complejas y sensibles sin dañar el soluto.
