La evaporación térmica consiste en utilizar diversos materiales y formas para facilitar el calentamiento y la evaporación de sustancias en un entorno de alto vacío.
Explicación de los 5 componentes clave
1. Fuentes de evaporación térmica
Las fuentes de evaporación térmica suelen estar hechas de materiales como el tungsteno, el tántalo o el molibdeno.
Estas fuentes se presentan en forma de botes, cestas, filamentos y varillas recubiertas.
Los botes se utilizan habitualmente y están disponibles en varios tamaños. Las embarcaciones más grandes suelen requerir mayor potencia para la misma tasa de deposición, pero pueden manejar tasas máximas de deposición más altas.
También se utilizan cestas y filamentos, que a menudo soportan crisoles o calientan directamente los materiales de evaporación.
Las varillas recubiertas pueden tener un revestimiento de material pasivo, como el óxido de aluminio, para mejorar su rendimiento o durabilidad.
2. Tipos de materiales utilizados
Los metales se utilizan comúnmente en la evaporación térmica, incluyendo el oro, la plata, el titanio y el cobre. Estos materiales se eligen por su conductividad, maleabilidad y resistencia a la corrosión.
Los semiconductores, como el dióxido de silicio, se utilizan en aplicaciones que requieren propiedades eléctricas específicas.
Los metales refractarios como el wolframio y el molibdeno se utilizan debido a sus altos puntos de fusión y durabilidad bajo calor intenso.
3. Técnicas de calentamiento
La evaporación por calentamiento resistivo consiste en calentar el material en un crisol calentado resistivamente, y el vapor se condensa en el sustrato.
La evaporación por haz de electrones utiliza un haz de electrones enfocado sobre el material, lo que provoca un calentamiento y una evaporación rápidos.
La evaporación flash calienta rápidamente el material hasta su temperatura de evaporación utilizando un pulso de alta corriente o una fuente de calor intensa.
La Evaporación por Calentamiento por Inducción induce corrientes en el material fuente, provocando el calentamiento y la evaporación.
4. Resumen del proceso
La evaporación térmica consiste en calentar un material sólido dentro de una cámara de alto vacío hasta que hierve y se evapora, produciendo una presión de vapor.
Este vapor forma una nube que se desplaza por la cámara y se deposita sobre el sustrato en forma de una fina película.
El entorno de vacío garantiza que la corriente de vapor se desplace sin reaccionar ni dispersarse contra otros átomos.
5. Aplicaciones en diversas industrias
La evaporación térmica se utiliza en diversas industrias por su precisión y fiabilidad en la creación de películas finas.
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