La repercusión de la temperatura del sustrato en las propiedades de la película es un aspecto crucial de la deposición de películas finas.
¿Cómo influye la temperatura del sustrato en las propiedades de la película? (8 factores clave)
1. Fase cristalina
El aumento de la temperatura del sustrato puede provocar cambios en la fase cristalina de la película fina.
Por ejemplo, un aumento de la temperatura puede provocar una transformación de una fase amorfa a una fase cristalina.
2. Tamaño del cristalito
Una mayor temperatura del sustrato puede provocar una disminución del tamaño de los cristalitos de la película delgada.
Esto se debe a la mayor difusión y crecimiento de la red cristalina a temperaturas más altas.
3. Proporción estequiométrica
La temperatura del sustrato también afecta a la proporción estequiométrica de la película fina.
El aumento de la temperatura puede dar lugar a una composición más equilibrada de la película, mejorando su calidad general.
4. Morfología de la superficie
La temperatura del sustrato puede influir en la morfología de la superficie de la película fina.
Las temperaturas más altas pueden potenciar las reacciones superficiales y dar lugar a una superficie de la película más lisa y uniforme.
5. Valor de la brecha de banda
El aumento de la temperatura del sustrato también puede influir en el valor de la brecha de banda de la película delgada.
Esto se atribuye a los cambios en la fase cristalina, el tamaño del cristalito y la proporción de estequiometría, que afectan a las propiedades electrónicas de la película.
6. Densidad de defectos
El aumento de la temperatura del sustrato puede ayudar a compensar los enlaces suspendidos en la superficie de la película, lo que conduce a una disminución de la densidad de defectos.
Esto mejora la calidad general de la película.7. Adhesión, cristalinidad y tensiónLa temperatura del sustrato es un parámetro importante que afecta a la adhesión, cristalinidad y tensión de la película fina depositada.La optimización de la temperatura permite obtener la calidad y las propiedades deseadas de la película.8. Velocidad de deposiciónLa velocidad a la que el material pulverizado se deposita sobre el sustrato, conocida como velocidad de deposición, puede verse influida por la temperatura del sustrato.La optimización de la velocidad de deposición ayuda a conseguir el espesor y la uniformidad deseados de la película.
