El crecimiento a baja temperatura de los nanotubos de carbono (CNT) se ve facilitado por las técnicas de deposición química en fase vapor potenciada por plasma (PECVD) y de deposición química en fase vapor catalizada (CVD). Estos métodos permiten el crecimiento de CNT a temperaturas significativamente más bajas que los 800°C típicos requeridos para CNT de alta calidad, potencialmente tan bajas como 400°C. Esta reducción de la temperatura es crucial para aplicaciones como el depósito de CNT en sustratos de vidrio para la emisión de campo y la integración de dispositivos nanoelectrónicos con la microelectrónica tradicional.
Deposición química en fase vapor potenciada por plasma (PECVD):
La PECVD aprovecha la gran actividad del plasma a bajas temperaturas para reducir la temperatura de deposición de las películas. Esta tecnología es especialmente beneficiosa para cultivar CNT a temperaturas inferiores a 400 °C, lo que abre posibilidades para integrar CNT con diversos sustratos que no pueden soportar altas temperaturas, como el vidrio.Deposición química catalítica en fase vapor (CVD):
En el CVD catalítico, se utiliza un catalizador metálico para iniciar las reacciones entre el gas precursor y el sustrato, lo que permite el crecimiento de los CNT a temperaturas más bajas. Este método es esencial para cultivar CNT y grafeno a temperaturas mucho más bajas que las necesarias sin catalizador.
Impacto en la integración de dispositivos:
La capacidad de cultivar CNT a temperaturas más bajas es importante para el desarrollo de dispositivos nanoelectrónicos. Permite la preparación in situ de CNT, que pueden integrarse con la tecnología tradicional de procesamiento microelectrónico. Esta integración es clave para lograr circuitos integrados de capacidad y escala ultra grandes.Consideraciones sobre el proceso:
Aunque reducir la temperatura del proceso puede aumentar la velocidad de grabado con ácido fluorhídrico (HF) y ofrecer más opciones para cambiar el índice de refracción, también puede provocar un aumento de la densidad de los agujeros de alfiler. Equilibrar estas propiedades es crucial para optimizar el crecimiento de CNT a temperaturas más bajas.
