El proceso de pulverización catódica de metal implica los siguientes pasos:
1. Se crea un campo eléctrico elevado alrededor del material fuente o del objetivo de interés. Este campo eléctrico crea un plasma.
2. Se introduce gas inerte, como neón, argón o criptón, en una cámara de vacío que contiene el material de revestimiento objetivo y el sustrato.
3. Una fuente de energía envía una onda energética a través del gas para ionizar los átomos de gas, dándoles una carga positiva.
4. El material objetivo cargado negativamente atrae a los iones positivos. Se produce una colisión, en la que los iones positivos desplazan a los átomos del blanco.
5. Los átomos del blanco desplazados se rompen en una pulverización de partículas que "salpican" y atraviesan la cámara de vacío.
6. Estas partículas pulverizadas se depositan sobre el sustrato formando una fina capa.
La velocidad de sputtering depende de varios factores, como la corriente, la energía del haz y las propiedades físicas del material objetivo.
El sputtering es un proceso físico en el que los átomos de un blanco en estado sólido se liberan y pasan a la fase gaseosa mediante el bombardeo con iones energéticos, principalmente iones de gases nobles. Se utiliza habitualmente para la deposición por pulverización catódica, una técnica de revestimiento basada en el alto vacío, y para la preparación de superficies de gran pureza y el análisis de la composición química de las superficies.
En el sputtering por magnetrón, se introduce un flujo de gas controlado, normalmente argón, en una cámara de vacío. Un cátodo cargado eléctricamente, la superficie del blanco, atrae los átomos del blanco dentro del plasma. Las colisiones dentro del plasma hacen que los iones energéticos desprendan moléculas del material, que atraviesan la cámara de vacío y recubren el sustrato para crear una fina película.
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