La deposición por haz de electrones es un proceso utilizado en la deposición física en fase vapor (PVD) en el que se utiliza un haz de electrones de alta energía para evaporar un material fuente, que luego se deposita como una fina película sobre un sustrato.
El proceso se realiza en una cámara de vacío para garantizar una alta pureza y un control preciso de la deposición.
Explicación de los 4 pasos clave
1. 1. Generación del haz de electrones
El proceso comienza con la generación de un haz de electrones mediante un cañón de electrones.
Este cañón contiene un filamento, normalmente de tungsteno, que se calienta para emitir electrones por emisión termoiónica.
Los electrones se aceleran y se concentran en un haz mediante un campo magnético.
2. Evaporación del material
El haz de electrones enfocado se dirige hacia un crisol que contiene el material que se va a depositar.
La energía del haz calienta el material, provocando su evaporación o sublimación en función de sus propiedades.
Por ejemplo, los metales como el aluminio pueden fundirse primero y luego evaporarse, mientras que la cerámica puede sublimarse directamente de sólido a vapor.
3. Deposición sobre el sustrato
El material evaporado forma un vapor que viaja a través de la cámara de vacío y se condensa en un sustrato colocado sobre el crisol.
El sustrato puede girarse y colocarse con precisión para controlar la uniformidad y el grosor de la película depositada.
4. Mejoras y control
El proceso puede mejorarse utilizando haces de iones para ayudar a la deposición, lo que mejora la adhesión y la densidad de la película.
El control por ordenador de diversos parámetros, como el calentamiento, los niveles de vacío y el movimiento del sustrato, garantiza la deposición de revestimientos conformados con las propiedades ópticas especificadas.
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