La evaporación por haz electrónico es una técnica de deposición física en fase vapor (PVD). Utiliza un haz de electrones focalizado para calentar y vaporizar el material de partida en un entorno de vacío. Esto permite la deposición de revestimientos finos de gran pureza sobre un sustrato.
¿Cómo funciona la evaporación por haz electrónico? Explicado en 4 sencillos pasos
1. Generación del haz de electrones
Se hace pasar una corriente eléctrica de alto voltaje (5-10 kV) a través de un filamento de tungsteno. Esto lo calienta a altas temperaturas y provoca la emisión termoiónica de electrones.
2. 2. Focalización y orientación del haz
Los electrones emitidos se concentran en un haz unificado mediante campos magnéticos. A continuación, se dirigen hacia un crisol que contiene el material que debe evaporarse.
3. Evaporación del material
El haz de electrones de alta energía transfiere su energía al material del crisol. Esto provoca su evaporación o sublimación.
4. Deposición sobre el sustrato
El material evaporado viaja a través de la cámara de vacío. Se deposita sobre un sustrato situado encima del material fuente, formando un revestimiento fino de gran pureza.
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