Los materiales utilizados en las fuentes de evaporación térmica incluyen principalmente tungsteno, molibdeno y tántalo. Estos materiales se eligen por su gran pureza, altos puntos de fusión y bajas presiones de vapor, lo que los hace adecuados para fuentes de evaporación calentadas por resistencia. Estas fuentes se presentan en diversas formas, como botes, cestas, filamentos y varillas recubiertas, cada una de ellas diseñada para soportar diferentes tipos de evaporantes y aplicaciones.
Tungsteno, molibdeno y tántalo: Estos materiales se utilizan habitualmente en la fabricación de fuentes de evaporación debido a sus propiedades refractarias. Pueden soportar altas temperaturas sin sufrir una degradación significativa, lo que resulta crucial para el proceso de evaporación, en el que el material fuente se calienta hasta su punto de fusión o por encima de éste para vaporizarse y depositarse sobre un sustrato.
Formas de fuentes de evaporación
- Botes: Se utilizan comúnmente y vienen en varios tamaños. Los botes más grandes requieren mayor potencia para la misma tasa de deposición, pero pueden manejar tasas máximas de deposición más altas.
- Cestas: Entre ellas se incluyen las adecuadas para soportar crisoles y se utilizan para materiales que podrían requerir contención durante la evaporación.
- Filamentos: Se utilizan normalmente para materiales que pueden evaporarse a temperaturas más bajas o para aplicaciones a menor escala.
- Varillas recubiertas: Pueden utilizarse cuando se requiere un revestimiento superficial específico para mejorar el proceso de evaporación o para evitar la contaminación.
Aplicaciones y diseño:
El diseño de la fuente de evaporación es fundamental para aplicaciones específicas como OLED/revestimiento múltiple en la fabricación de pantallas planas. Las fuentes se diseñan específicamente para optimizar el proceso de evaporación, garantizando una deposición eficaz y uniforme de los materiales.Fuente de alimentación y control:
Las fuentes de evaporación térmica suelen requerir una fuente de alimentación eléctrica de bajo voltaje y altas corrientes. La demanda de energía suele ser elevada, especialmente en el caso de las fuentes de evaporación en barcos. Para controlar la velocidad de evaporación y la tasa de deposición, los sistemas de evaporación térmica suelen utilizar microbalanzas de cristal de cuarzo (QCM) y otras configuraciones de software o hardware para gestionar la tasa de evaporación y las propiedades de la película.
Materiales evaporantes:
