Las fuentes de evaporación térmica son componentes esenciales en diversos procesos científicos e industriales. Se utilizan para vaporizar materiales a altas temperaturas y depositarlos sobre sustratos. Los materiales utilizados en estas fuentes se eligen cuidadosamente por sus propiedades únicas.
5 puntos clave que hay que saber sobre los materiales utilizados en las fuentes de evaporación térmica
1.Materiales primarios: Tungsteno, molibdeno y tántalo
Estos materiales son los más utilizados en las fuentes de evaporación térmica. Se eligen por su alta pureza, altos puntos de fusión y bajas presiones de vapor. Esto los hace ideales para fuentes de evaporación calentadas resistivamente.
2.Propiedades refractarias
El tungsteno, el molibdeno y el tántalo son conocidos por sus propiedades refractarias. Esto significa que pueden soportar temperaturas extremadamente altas sin degradarse. Esto es crucial para el proceso de evaporación, en el que el material fuente se calienta hasta su punto de fusión o superior.
3.Diferentes formas de fuentes de evaporación
Las fuentes de evaporación térmica se presentan en varias formas para adaptarse a diferentes necesidades:
- Barcos: Se utilizan habitualmente y son de distintos tamaños. Los botes más grandes requieren mayor potencia pero pueden manejar mayores tasas de deposición.
- Cestas: Son adecuadas para soportar crisoles y se utilizan para materiales que necesitan contención durante la evaporación.
- Filamentos: Se utilizan normalmente para materiales que pueden evaporarse a temperaturas más bajas o para aplicaciones a menor escala.
- Varillas recubiertas: Estas podrían utilizarse cuando se requiere un recubrimiento superficial específico para mejorar el proceso de evaporación o para evitar la contaminación.
4.Aplicaciones y diseño
El diseño de la fuente de evaporación es fundamental para aplicaciones específicas, como los OLED y el recubrimiento múltiple en la fabricación de pantallas planas. Las fuentes se diseñan para optimizar el proceso de evaporación, garantizando una deposición eficiente y uniforme de los materiales.
5.Fuente de alimentación y control
Las fuentes de evaporación térmica suelen requerir una fuente de alimentación eléctrica de bajo voltaje y altas corrientes. La demanda de potencia suele ser alta, especialmente para las fuentes de evaporación en barcos. Para controlar la velocidad de evaporación y la tasa de deposición, los sistemas de evaporación térmica suelen utilizar microbalanzas de cristal de cuarzo (QCM) y otras configuraciones de software o hardware.
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