El depósito químico en fase vapor (CVD) es un proceso complejo utilizado para crear películas finas sobre sustratos.
¿Cuáles son los 6 pasos del CVD?
1. Introducción de los productos químicos precursores
El primer paso en el proceso CVD es introducir los precursores químicos en el reactor CVD.
Estos productos químicos precursores son los gases reactivos que se someterán a reacciones químicas para formar la película delgada deseada sobre el sustrato.
2. Transporte de las moléculas precursoras
Una vez dentro del reactor, las moléculas precursoras necesitan ser transportadas a la superficie del sustrato.
Este transporte se consigue normalmente mediante una combinación de transporte de fluidos y difusión.
3. Adsorción en la superficie del sustrato
A continuación, las moléculas precursoras se adsorben en la superficie del sustrato.
La adsorción se refiere a la unión de estas moléculas a la superficie del sustrato.
4. 4. Reacciones químicas
Las moléculas precursoras adsorbidas sufren reacciones químicas con el material del sustrato para formar la película fina deseada.
Estas reacciones pueden producirse en la superficie del sustrato o muy cerca de ella.
5. Desorción de subproductos
A medida que se producen las reacciones químicas, se forman moléculas de subproductos.
Estas moléculas subproducto necesitan desorberse de la superficie del sustrato para dejar espacio a más moléculas precursoras entrantes.
La desorción se refiere a la liberación de estas moléculas de la superficie.
6. Evacuación de subproductos
Los subproductos gaseosos de las reacciones se evacuan de la cámara de reacción.
Esto es necesario para mantener un entorno limpio para el proceso de deposición.
Es importante señalar que el proceso de CVD puede producirse en diferentes condiciones, como CVD a presión atmosférica, CVD a baja presión y CVD a ultra alto vacío.
Además, existen diversas clasificaciones y variaciones del CVD, como el CVD potenciado por plasma, el CVD asistido por láser y el CVD fotoasistido, que implican diferentes fuentes de energía para la activación de los gases reactivos.
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