¿Qué es el sputtering con plasma?
El sputtering por plasma es una técnica utilizada para depositar películas finas sobre sustratos desprendiendo átomos de un material objetivo sólido mediante un plasma gaseoso. Este proceso se aplica ampliamente en industrias como la de semiconductores, CD, unidades de disco y dispositivos ópticos debido a la excelente uniformidad, densidad, pureza y adherencia de las películas pulverizadas.
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Explicación detallada:Creación del plasma:
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El sputtering por plasma comienza con la creación de un entorno de plasma. Esto se consigue introduciendo un gas noble, normalmente argón, en una cámara de vacío y aplicando un voltaje de CC o RF. El gas se ioniza, formando un plasma compuesto por átomos de gas neutros, iones, electrones y fotones casi en equilibrio. La energía de este plasma es crucial para el proceso de sputtering.
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Proceso de sputtering:
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En el proceso de sputtering, el material objetivo es bombardeado con iones procedentes del plasma. Este bombardeo transfiere energía a los átomos del blanco, haciendo que escapen de la superficie. Estos átomos desalojados se desplazan por el plasma y se depositan sobre un sustrato, formando una fina película. La elección de gases inertes como el argón o el xenón para el plasma se debe a su no reactividad con el material objetivo y a su capacidad para proporcionar altas velocidades de sputtering y deposición.Velocidad de sputtering:
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La velocidad a la que se pulveriza el material del blanco depende de varios factores, como el rendimiento de pulverización, el peso molar del blanco, la densidad del material y la densidad de la corriente de iones. Esta velocidad puede representarse matemáticamente y es crucial para controlar el espesor y la uniformidad de la película depositada.
Aplicaciones:
