La velocidad de deposición de la evaporación por haz electrónico oscila entre 0,1 μm/min y 100 μm/min.
Esta elevada velocidad se debe a la transferencia directa de energía del haz de electrones al material objetivo.
Este método es ideal para metales con puntos de fusión elevados.
El proceso da lugar a revestimientos de película de alta densidad con mayor adherencia al sustrato.
1. Alta tasa de deposición
La alta velocidad de deposición de la evaporación por haz electrónico es una ventaja significativa.
Es especialmente importante en sectores en los que se necesita un revestimiento rápido y eficaz, como el aeroespacial, la fabricación de herramientas y los semiconductores.
Esta tecnología utiliza un haz de electrones para calentar y vaporizar el material de partida en un entorno de vacío.
Este método de transferencia directa de energía permite evaporar materiales con altos puntos de fusión, lo que sería difícil de conseguir con otros métodos.
2. Mecanismo del haz de electrones
El haz de electrones se genera a partir de un filamento.
Se dirige a través de campos eléctricos y magnéticos para golpear el material fuente.
Al calentarse el material, los átomos de su superficie adquieren la energía suficiente para abandonar la superficie y atravesar la cámara de vacío.
Se utilizan para recubrir un sustrato situado sobre el material que se evapora.
Este proceso es muy eficaz, ya que la energía se concentra únicamente en el material objetivo.
Minimiza el riesgo de contaminación del crisol y reduce la posibilidad de que el calor dañe el sustrato.
3. Deposición multicapa
La evaporación por haz electrónico ofrece la posibilidad de deposición multicapa utilizando diversos materiales de partida.
No hay necesidad de ventilación, lo que la convierte en una solución versátil y rentable para muchas aplicaciones.
La alta eficiencia de utilización del material reduce aún más los costes.
El sistema sólo calienta el material fuente objetivo, no todo el crisol.
4. Ventajas de la evaporación por haz de electrones
La evaporación por haz electrónico es un método muy eficiente y eficaz para depositar revestimientos finos de alta densidad.
Entre sus ventajas se incluyen la alta pureza, la excelente adherencia del revestimiento, la compatibilidad con una amplia variedad de materiales y la alta eficiencia de utilización del material.
Aunque la tecnología tiene algunas limitaciones, como la complejidad y la intensidad energética del equipo, sus beneficios la convierten en una opción popular en diversas industrias.
5. Aplicaciones y beneficios
La evaporación por haz de electrones se utiliza ampliamente en industrias como la aeroespacial, la fabricación de herramientas y la de semiconductores.
Ofrece velocidades de deposición rápidas, una adhesión inigualable y una versatilidad sin igual para materiales con alto punto de fusión.
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