Cuando se trata de crear películas finas, dos métodos comunes son la evaporación térmica y la evaporación por haz electrónico.
5 puntos clave a tener en cuenta a la hora de elegir entre la evaporación térmica y la evaporación por haz de electrones
1. Método de vaporización
En la evaporación térmica, el material se vaporiza utilizando calor.
Un crisol que contiene el material se calienta a una temperatura elevada, lo que provoca la vaporización del material.
2. Idoneidad de los materiales
La evaporación térmica es muy adecuada para metales y materiales no metálicos que requieren una temperatura de fusión más baja.
3. Calidad de las películas finas
La evaporación térmica puede producir películas finas con buena pureza y adherencia al sustrato.
Sin embargo, puede dar lugar a recubrimientos menos densos y a un mayor riesgo de impurezas debido al calentamiento del crisol.
4. Proceso de evaporación por haz electrónico
La evaporación por haz de electrones es un proceso físico de deposición de vapor que utiliza un haz de electrones de alta energía para vaporizar el material.
A continuación, el material vaporizado se condensa sobre un sustrato para formar una película fina.
5. Ventajas de la evaporación por haz electrónico
La evaporación por haz electrónico puede tratar materiales a temperaturas más elevadas, como los óxidos.
Puede producir películas de gran pureza y buena adherencia al sustrato.
También tiene una mayor tasa de deposición en comparación con la evaporación térmica.
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