Comprender la diferencia entre el depósito químico en fase vapor (CVD) y el depósito físico en fase vapor (PVD) es crucial para cualquiera que participe en procesos de deposición de películas finas.
5 diferencias clave entre la deposición CVD y PVD
1. Tipo de proceso
PVD utiliza fuerzas físicas para la deposición.
CVD implica reacciones químicas para la deposición.
2. Velocidad de deposición
CVD suele tener una mayor tasa de deposición.
PVD tiene una tasa de deposición más lenta.
3. Temperatura del sustrato
CVD a menudo requiere calentar el sustrato.
PVD no suele requerir el calentamiento del sustrato.
4. Calidad de la película
PVD produce películas más lisas con buena adherencia, pero puede carecer de densidad y cobertura.
CVD ofrece películas más densas y con mejor cobertura, pero pueden no ser tan lisas.
5. Salud y seguridad
CVD puede implicar gases peligrosos, lo que supone riesgos.
PVD no suele implicar materiales peligrosos.
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