La deposición química en fase vapor (CVD) es un proceso utilizado para depositar películas finas o revestimientos sobre un sustrato mediante la reacción química de precursores gaseosos.
El principio del CVD implica tres pasos principales: evaporación de un compuesto volátil, descomposición térmica o reacción química del vapor en el sustrato y deposición de los productos no volátiles de la reacción.
Este proceso suele requerir altas temperaturas y rangos de presión específicos para facilitar las reacciones y garantizar un recubrimiento uniforme.
¿Cuál es el principio del depósito químico en fase vapor? (Explicación de los 3 pasos clave)
1. 1. Evaporación de un compuesto volátil
En el primer paso, se evapora un precursor volátil, que es un compuesto de la sustancia que se va a depositar.
Este precursor suele ser un haluro o un hidruro que se elige en función del material que se desea depositar sobre el sustrato.
El proceso de evaporación prepara el precursor para las reacciones posteriores.
2. Descomposición térmica o reacción química
Una vez que el precursor se encuentra en estado gaseoso, se introduce en una cámara de reacción donde se somete a altas temperaturas (a menudo en torno a 1000°C).
A estas temperaturas, el precursor sufre una descomposición térmica o reacciona con otros gases presentes en la cámara.
Esta reacción descompone el precursor en átomos y moléculas listos para la deposición.
3. Deposición de productos de reacción no volátiles
Los átomos y moléculas resultantes de la descomposición o reacción se depositan sobre el sustrato calentado.
Esta deposición forma una fina película o recubrimiento que se acumula uniformemente con el tiempo.
Los productos no volátiles de la reacción se adhieren al sustrato, mientras que los precursores y subproductos que no han reaccionado se eliminan de la cámara.
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