La deposición química en fase vapor (CVD) es un proceso utilizado para depositar películas finas o revestimientos sobre un sustrato mediante la reacción química de precursores gaseosos. El principio del CVD implica tres pasos principales: evaporación de un compuesto volátil, descomposición térmica o reacción química del vapor en el sustrato y deposición de los productos no volátiles de la reacción. Este proceso suele requerir altas temperaturas y rangos de presión específicos para facilitar las reacciones y garantizar un recubrimiento uniforme.
Resumen de la respuesta:
El principio del CVD implica el uso de precursores volátiles que se calientan y reaccionan dentro de una cámara de vacío para formar una película sólida sobre un sustrato. Este proceso se caracteriza por tres etapas clave: evaporación del precursor, reacciones químicas en la superficie del sustrato y deposición de los materiales resultantes.
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Explicación detallada:Evaporación de un compuesto volátil:
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En el primer paso, se evapora un precursor volátil, que es un compuesto de la sustancia que se va a depositar. Este precursor suele ser un haluro o hidruro que se elige en función del material que se desea depositar sobre el sustrato. El proceso de evaporación prepara el precursor para las reacciones posteriores.
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Descomposición térmica o reacción química:
Una vez que el precursor se encuentra en estado gaseoso, se introduce en una cámara de reacción donde se somete a altas temperaturas (a menudo en torno a 1000°C). A estas temperaturas, el precursor sufre una descomposición térmica o reacciona con otros gases presentes en la cámara. Esta reacción descompone el precursor en átomos y moléculas listos para la deposición.Deposición de productos de reacción no volátiles:
